氫是主要的工業原料，也是最重要的工業氣體和特種氣體，在石油化工、電子工業、冶金工業、食品加工、浮法玻璃、精細有機合成、航空航天等方面有著廣泛的應用。同時，氫也是一種理想的二次能源（二次能源是指必須由一種初級能源如太陽能、煤炭等來制取的能源）

氮氣在常況下是一種無色無味無臭、無毒的氣體。氮氣占空氣含量的78%，在標準情況下的氣體密度是1.25g/L，氮氣在水中溶解度很小。氮氣在極低溫-196℃下會液化成無色液體，進一步降低溫到-210℃時，更會形成白色晶狀固體。

超純氨是微電子氮化硅掩蔽膜的主要原材料，其反應為：750—850℃：SiH4+NH3---Si3N4+H2+N2，850—900℃：3SiCl4+4NH3---Si3N4+12HCl。雖然NH3在半導體制造用量不大，但在光電子領域、超純氨是十分重要的原材料

三氟化氮是一種強氧化劑。三氟化氮在微電子工業中作為一種優良的等離子蝕刻氣體，在離子蝕刻時裂解為活性氟離子，這些氟離子對硅和鎢化合物，高純三氟化氮具有優異的蝕刻速率和選擇性（對氧化硅和硅），它在蝕刻時，在蝕刻物表面不留任何殘留物，是非常良好的清洗劑，同時在芯片制造、高能激光器方面得到了大量的運用。

氣體是四種基本物質狀態之一（其他三種分別為固體、液體、等離子體）。氣體可以由單個原子（如稀有氣體）、一種元素組成的單質分子（如氧氣）、多種元素組成化合物分子（如二氧化碳）等組成。氣體混合物可以包括多種氣體物質，比如空氣。氣體與液體和固體的顯著區別就是氣體粒子之間間隔很大。這種間隔使得人眼很難察覺到無色氣體。氣體與液體一樣是流體：它可以流動，可變形。與液體不同的是氣體可以被壓縮。假如沒有限制（容器或力場）的話，氣體可以擴散，其體積不受限制，沒有固定。氣態物質的原子或分子相互之間可以自由運動。

氣體是四種基本物質狀態之一（其他三種分別為固體、液體、等離子體）。氣體可以由單個原子（如稀有氣體）、一種元素組成的單質分子（如氧氣）、多種元素組成化合物分子（如二氧化碳）等組成。氣體混合物可以包括多種氣體物質，比如空氣。氣體與液體和固體的顯著區別就是氣體粒子之間間隔很大。這種間隔使得人眼很難察覺到無色氣體。氣體與液體一樣是流體：它可以流動，可變形。與液體不同的是氣體可以被壓縮。假如沒有限制（容器或力場）的話，氣體可以擴散，其體積不受限制，沒有固定。氣態物質的原子或分子相互之間可以自由運動。

二氧化碳（carbon dioxide），一種碳氧化合物，化學式為CO2，化學式量為44.0095[1]，常溫常壓下是一種無色無味[2]或無色無嗅而其水溶液略有酸味[3]的氣體，也是一種常見的溫室氣體[4]，還是空氣的組分之一（占大氣總體積的0.03%-0.04%[5]）。在物理性質方面，二氧化碳的熔點為-56.6℃（527kPa），沸點為-78.5℃，密度比空氣密度大（標準條件下），溶于水。在化學性質方面，二氧化碳的化學性質不活潑，熱穩定性很高（2000℃時僅有1.8%分解），不能燃燒，通常也不支持燃燒，屬于酸性氧化物，具有酸性氧化物的通性，因與水反應生成的是碳酸，所以是碳酸的酸酐。

氦氣，是一種稀有氣體，英文名為Helium，元素符號為He，原子序數2。[1]為無色無味的惰性氣體，化學性質不活潑，一般狀態下很難和其它物質發生反應。

氬氣是一種無色、無味的單原子氣體，相對原子質量為39.948。一般由空氣液化后，用分餾法制取氬氣。氬氣的密度是空氣的1.4倍，是氦氣的10倍。氬氣是一種惰性氣體，在常溫下與其他物質均不起化學反應，在高溫下也不溶于液態金屬中，在焊接有色金屬時更能顯示其優越性?？捎糜跓襞莩錃夂蛯Σ讳P鋼、鎂、鋁等的電弧焊接，即“氬弧焊”。

氧氣（oxygen）是氧元素形成的一種單質，化學式O2，其化學性質比較活潑，與大部分的元素都能與氧氣反應。常溫下不是很活潑，與許多物質都不易作用。但在高溫下則很活潑，能與多種元素直接化合，這與氧原子的電負性僅次于氟有關。